真空蒸着で金属箔上にリチウムを成膜、次世代バッテリーの開発などに活用

真空蒸着で金属箔上にリチウムを成膜、次世代バッテリーの開発などに活用

アルバックは、金属箔上にリチウムを成膜する巻取式真空蒸着装置「EWK-030」を開発した。真空蒸着は不純物の混入や酸化を抑えられるため、従来の大気環境下でのロールプレス技術より良好な膜表面が得られる。

真空蒸着で金属箔上にリチウムを成膜、次世代バッテリーの開発などに活用

2025-03-04 19:02